蔡司三坐標測量機的校準需遵循國際標準與設備專屬操作流程,核心圍繞測針校準、幾何精度校準展開,同時把控環(huán)境條件、校準周期等關鍵要素,以下是詳細規(guī)范內(nèi)容:
校準前準備規(guī)范
環(huán)境條件校準:需將環(huán)境溫度穩(wěn)定在 20±0.5℃,相對濕度控制在 45%-65%,避免溫度波動和濕度異常影響校準精度。同時設備需在該環(huán)境下穩(wěn)定運行 24 小時以上,確保達到熱平衡狀態(tài)。此外要遠離振動源、強電磁干擾設備,防止外部因素干擾校準數(shù)據(jù)。
器具與設備檢查:配備經(jīng)國家計量機構檢定合格的標準球、量塊等器具,且需核對其檢定證書有效性,準確記錄標準球理論直徑等關鍵參數(shù)。安裝測針時,需對齊 RDS 旋轉頭與探針吸盤的黑色標記,確保安裝牢固,同時檢查測針、接長桿無變形、磨損,標準球安裝穩(wěn)固無松動。另外要開機檢查設備操控系統(tǒng)、軟件運行是否正常,無異常報錯后方可開始校準。
核心校準操作規(guī)范
測針校準:這是核心校準環(huán)節(jié),首先在 Calypso 軟件中新建測量程序,激活溫度補償功能,輸入工件及 X、Y、Z 光柵的實際溫度值。接著安裝主探針并在軟件中選擇對應探針,將標準球固定在 45°、135° 等指定角度位置,通過軟件啟動參考球定位,設定 100% 探測速度后,操控探針至校準球軸向位置探測一點,設備會自動運行校準。單個測針需校準 6 次以上,觀察 S 值需小于 0.0005,且直徑與平時校準值相近、重復性良好;多測針位置校準時,還需檢測各測針測量標準球的球心坐標變化,正常變化范圍應在 1 - 3μm 之間。
幾何精度校準:遵循 ISO10360 - 2 國際標準,選用不同長度的量塊,在設備工作區(qū)域不同位置和方向進行長度測量誤差檢測,測量點數(shù)不少于 25 個以覆蓋全工作空間。同時連續(xù) 20 次測量同一特征計算標準偏差,評估測量重復性;用標準球在不同方向和位置測量,檢測探測系統(tǒng)的一致性,確保幾何精度符合設備技術規(guī)格。
校準后驗證與記錄規(guī)范
結果驗證:校準完成后,需用校準后的測針復測標準球或量塊,核對數(shù)據(jù)重復性和一致性。若出現(xiàn) S 值超標、球心坐標波動過大等情況,需重新檢查測針安裝、標準球位置,必要時重新校準。同時按 JJF1059 規(guī)范評定測量不確定度,分析設備、環(huán)境等因素帶來的誤差分量。
檔案留存:詳細記錄校準信息,包括校準日期、操作人員、環(huán)境參數(shù)、標準器具信息、校準數(shù)據(jù)、不確定度評估結果等。建立完整的校準檔案,確保數(shù)據(jù)可追溯,且校準記錄需妥善保存,以備后續(xù)核查與追溯。
校準周期與后續(xù)管理規(guī)范
明確校準周期:日常使用中,每兩周需對測針進行一次重新校準;若出現(xiàn)測針碰撞、環(huán)境溫度大幅變化等情況,需立即校準。幾何精度校準每年至少進行一次,若設備用于航空航天等高精度需求行業(yè),可縮短周期,同時每年需與外部權威機構進行一次比對驗證。
后續(xù)維護管理:校準后的標準器具需定期送檢,建立期間核查制度,監(jiān)控其穩(wěn)定性。若校準中發(fā)現(xiàn)設備異常,需及時停用檢修,待故障排除后重新校準,合格后方可投入使用。此外,校準人員需具備專業(yè)資質,熟練掌握 ISO10360、VDI/VDE2617 等標準,且需定期接受專業(yè)培訓。