傳統(tǒng)成像模式:速度慢，信息量不足

至今，常規(guī)SEM使用二次電子或背散射電子信號呈現(xiàn)灰白襯度圖，顯示樣品起伏或原子序數(shù)差異的外觀形貌。沒有元素的成像信息，僅據(jù)形貌進行感興趣區(qū)域的尋找，往往耗時耗力。

BEX:集高速及強大于一體

Unity探測器置于極靴之下，高立體角且具有雙傳感器，同時快速收集彩色的BEX信號，甚至可以在較低的束流下實現(xiàn)快速BEX成像，且對樣品起伏不敏感，幾乎無陰影效應。

基于元素分布的成像模式

Unity探測器可以快速高效的定位樣品感興趣區(qū)域，瀏覽樣品的過程即是高分辨BEX成像的過程，實時呈現(xiàn)出元素的分布情況。瞬息之間，即可對樣品進行較全面的了解，同時基于AZtec平臺，可以一鍵切換EDS、WDS或EBSD，進行更加深入的分析。

BEX的重要性

BEX成像及全景模式提高檢測效率豈止百倍，今后相同時間可以檢測更多樣品并獲得更多分析結(jié)果,是科研、生產(chǎn)都離不開的有利工具。

傳統(tǒng)工作流程

檢索樣品中的異常區(qū)域通常耗時耗力且需反復多次進行檢查繁復枯燥且嚴重依賴于操作人員的感覺或?qū)悠返氖煜こ潭?，通常需要多次重復才可以確定所需分析的區(qū)域。由于檢索過程中無法收集數(shù)據(jù)，因此無法保證及時發(fā)現(xiàn)異常區(qū)域。

BEX工作流程

使用Unity探測器，分析將更為動態(tài)，可獲得更為豐富的數(shù)據(jù)。利用BEX的成像及全景模式不再需要操作人員的主觀猜測。有了這些存儲的寶貴數(shù)據(jù)，基于嚴謹分析，可更可靠和嚴謹?shù)乃阉鳟惓：透信d趣的區(qū)域。

Unity探測器和BEX系統(tǒng)的主要優(yōu)勢

l 快速、準確、強大的全彩色高分辨率成像。

l 同時顯示/保存形貌和成分數(shù)據(jù)，

l 專為日常成像和樣品檢索設計;

l 可在低真空等常規(guī)操作條件下工作;

l 提高工作效率和分析的準確性(實際測試中效率可提高100倍以上)。